国海证券研究所 液冷技术产业链迎发展机遇 图表：数据中心液冷技术分类及产业链 冷却介质 • 植物油等 氟二氯乙烷、水合二氧化 硅等 将发热器件完全或者部分浸没在液体中，发热器件与液体直接接触并进行热交 换的冷却技术。根据所使用的冷却液在冷却电子器件的过程中是 否会发生状态 改变 , 可将浸没式液冷分为单相浸没液 气体杂质留存 ④ 溶解旋拉 Ar ⑤ 切割、抛光、清洗 - - 氧化 炉管内高温加热：硅芯片 + 氧气 + 水蒸气 - 在芯片表 面 形成干式或湿式 SiO2 氧 化层 Cl2 、 HCL 三氯乙烷或二氯乙 烯 清洗 - 控制离子侵入氧化层， 去除金属杂质 CVD 化学气相沉积 SiH4 、 SiHCl4 、 SiCl4 、 TEOS 等 形成 CVD 膜 刻蚀 采用物理和化学方法从硅

甲醇、乙醇、异丙醇 酮类 丙酮、丁酮、甲基异丁基酮、 N- 甲基吡咯烷酮 酯类 乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、丙二醇单甲醚醋酸酯 醚类 丙二醇单甲醚 烃类 甲苯、二甲苯、环己烷 卤代烃类 三氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳 其它 双氧水 功能湿电子化学品 蚀刻液 金属蚀刻液、 BOE 蚀刻液、 ITO 蚀刻液 清洗液 光刻胶配套试剂 稀释液 显影液 正 / 负胶显影液 剥离液 正 / 负胶剥离液、剥离清洗液