公司生产的高纯磷烷、砷烷纯度可达到 99.9999% （ 6N ）以上级别 南大光电 氢类电子特气主要包括磷烷、砷烷等，含氟电子特气主要应用于微电子工业 侨源股份 主要生产高品质氧气、高纯氮气、高纯氩气 胜华新材 聚焦碳酸脂行业和锂电子电池制备行业市场 请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明 40 图表： 中国电子特种气体行业上市企业业务布局 图表： 中国电子特气国产化率有望逐步提升 资料来源：前瞻产业研究院，中国上市公司网，国海证券研究所