车间内进行验证和调 控，使得该车间晶圆的生产批次（LOT）平均偏差改善了 18%。 3、钢铁：聚焦质量管理和安全管理 钢铁行业是流程型行业，生产过程复杂、工艺门槛高、大型高温 高压设备集中。由于钢铁行业普遍存在高温、热辐射、粉尘等危险环 境，在大量的生产操作、物流配送场景中，传统机器人已经得到了广 泛的应用，如上下料机器人、测温取样机器人、冲击拉伸机器人、打 包机器人、搬运机器人等等。 吕佑龙，鲍劲松，汪俊亮） 21 图 8 苏州沙钢生产过程智能检测中心 “移动机器人+识别类模型+自主导航模型”实现高温生产设备的 安全检查正处于应用推广阶段，占比约为 23%。钢铁行业的冶炼、精 炼、连铸和轧制产线中分布了大量的高炉、连铸机、烧结机、焦炉等 大型高温设备，存在安全隐患，借助智能机器人可以实现全天候、全 方位的生产设备检测。如柳钢的“飞流”是炼铁厂自主研发的一只智 能

行驶安全 性。 虽然EMB有很多优势，但高度线控化也对EMB的可靠性提出了更高 的要求。制动执行机构采用电机驱动，轮端集成了电机及驱动模块、 减速模块、传感器等，车辆运行时车轮的震动、制动时产生的高温、 以及雨水灰尘的腐蚀都对相关元器件的性能提出更高要求。轮端制 动需要更大的制动力，需要制动电机产生足够的功率，而轮侧空间 有限，这就需要电机以较小的体积产生较大的功率，同时需要48V 或更高电压来

备收入(亿) 占国产市 场份额 主要产品 中电科集团(包含 41/45/48所、北京中 科信、北京中电科) 9.28 19.8% 离子注入机、退火炉等IC装备；扩散炉、 刻蚀机、PECVD、高温烧结炉等光伏 装备 晶盛机电 6.75 14.4% 单晶炉等晶体生长设备 捷佳伟创新能源 7.11 15.1% 晶硅电池设备、硅片清洗设备 北方华创 8.13 17.3% 刻蚀设备、CVD设备、晶片清洗、封装