池制造过程中的重要发展方向，通过技术手段的创 新与发展，将进一步提高能源电池的智能化与数字 化水平，为能源结构的发展与转型作出更大贡献。 参 考 文 献 [1] 高赐威, 王崴, 陈涛. 基于可逆固体氧化物电池的电氢一体化能源站 容量规划[J]. 中国电机工程学报, 2022, 42(17): 6155-6170. GAO C W, WANG W, CHEN T. Capacity planning

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集成化、智能化方向发展。PMUT（压电微机械超声换能器）和 CMUT（电容微机械 超声换能器）是两种主要的 MEMS 超声技术，各有其独特优势和应用领域。 3.3 声表面波传感器 声表面波（SAW）传感器利用在固体表面传播的弹性波进行传感，具有无源无线、高 灵敏度、快速响应等特点。SAW 器件最初用于电子通信领域的滤波器和谐振器，后来 扩展到传感应用。基本原理是外界物理量（如温度、压力、质量负载）改变 SAW