广泛应用于消费电子、汽车、工业控制等领域。 1.3 磁力计与电子罗盘 磁力计是测量磁场强度和方向的传感器，在地磁导航、姿态测量、金属探测等领域有 广泛应用。MEMS 磁力计主要基于磁阻效应，包括各向异性磁阻（AMR）、巨磁阻 （GMR）、隧道磁阻（TMR）等。这些效应使得材料的电阻随外加磁场变化，通过测 量电阻变化可以得到磁场信息。随着薄膜制备技术和微纳加工技术的进步，MEMS 磁 力计的灵敏度和分辨率