SF4 、 C2F6 、 NF3 硅片刻蚀 氟基和溴基气体 改进气体、提高各向异性 和选择性 CCl4 、 Cl2 、 BC l3 等 铝和金属复合层的刻蚀 离子 注入 掺入杂质改变半导体电化 学性质 三价掺杂气体： B2H6 、 BF3 等 P 型半导体的掺杂 电子特气是半导体重要耗材，应用领域集中于集成电路与显示面板 u 电子特气是半导体制造的关键原材料， 被称为“芯片血液”。 数和导热性好等性能，系一种性能优异的无机非金属功能性填料，被广泛用于覆铜板、环氧塑封料、电工绝缘材料、胶粘剂、陶瓷和涂料等。 u 日本企业主导全球硅微粉市场。根据中国粉体技术网于 2018 年 3 月发布的数据，电化株式会社、日本龙森公司和日本新日铁公司三家企业合计 占 据了全球球形硅微粉 70% 的市场份额，日本雅都玛公司则垄断了 1 微米以下的球形硅微粉市场。 u 根据新思界产业研究中心，随着人工智能、芯片、 亿元。 u 涉及标的：联瑞新材，华飞电子（雅克科技全资子公司） 企业名称 主要产品 日本龙森公司 高纯度结晶性石英粉、高纯度熔融石英粉、 高纯度真球状石英粉等 电化株式会社 溶融硅石球状型、超微粒子球状硅石填充 料、电化球状氧化铝等 日本雅都玛公司 球形颗粒二氧化硅、球形氧化铝粉体及其 二次加工产品 新日铁住金株式会社微米社 最先利用熔射法，使真球状微粒子制造技 术实现大规模工业化生产

热点前沿主要分布在 合成化学、材料回收与循环利用、锂电池、能源材料 等研究方向。合成化学方向有四项，涉及药物化学（“苯 环的生物电子等排体合成”）、光化学（“COF 光 催化合成过氧化氢”）、电化学（“电化学还原 CO2 制多碳产物”）和生物化学（“PET 水解酶的定向进 化与设计”）。材料回收与循环利用方向有两项，分 别关注废旧锂离子电池和废旧聚烯烃塑料。锂电池方 向有两项，分别为单晶高镍正极材料和卤化物固态电 锂离子电池单晶高镍正极材料 19 4442 2021.4 7 高温储能聚合物电介质 35 6667 2021.3 8 用于全固态电池的卤化物固态电解质 26 5089 2021.3 9 电化学还原 CO2 制多碳产物 14 3549 2021.3 10 PET 水解酶的定向进化与设计 24 4862 2021.2 063 2019 2020 2021 2022 2023 2024 COF 光催化合成过氧化氢 回收利用废旧锂离子电池正极材料 废旧聚烯烃塑料的化学回收 锂离子电池单晶高镍正极材料 高温储能聚合物电介质 用于全固态电池的卤化物固态电解质 电化学还原 CO2 制多碳产物 PET 水解酶的定向进化与设计 图 16 化学与材料科学领域 Top 10 热点前沿的施引论文 1.2 重点热点前沿――“废旧聚烯烃塑料的化学回收” 塑料污染是当今世界面临的最严峻的环境挑战之

19 4442 2021.4 热点前沿 7 高温储能聚合物电介质 35 6667 2021.3 热点前沿 8 用于全固态电池的卤化物固态电解质 26 5089 2021.3 热点前沿 9 电化学还原 CO2 制多碳产物 14 3549 2021.3 热点前沿 10 PET 水解酶的定向进化与设计 24 4862 2021.2 新兴前沿 1 倒置钙钛矿太阳能电池稳定性及转换效率提升策略

请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明 39 格林达： 国内 TMAH 显影液龙 头 图表：格林达产能分布（截至 2023 年底） 基地 项目 产品名称 新增产能（万吨 / 年） 投产时间 杭州格林达 杭州电化集团有限公司整体搬迁工程 TMAH 显影液 2 2012 年 年产 2 万吨电子级 TMAH （四甲基氢氧化铵）项 目 TMAH 显影液 2 2016 年 四甲基氢氧化铵（ TMAH ）电解装置节能增产技术改造项目（