目 录 一、泵及真空设备制造行业中小企业发展情况....................................... - 1 - （一）泵及真空设备制造行业定义与范围...............................................- 1 - （二）泵及真空设备制造行业中小企业发展现状与趋势.......................- 2 - （三）泵及真空设备制造行业中小企业业务痛点 （三）泵及真空设备制造行业中小企业业务痛点...................................- 3 - 二、泵及真空设备制造行业中小企业转型价值....................................... - 4 - 三、泵及真空设备制造行业中小企业数字化转型场景...........................- 6 - （一）供应链数字化...... ..............................- 28 - - 1 - 一、泵及真空设备制造行业中小企业发展情况 （一）泵及真空设备制造行业定义与范围 泵及真空设备制造业是沈阳市装备制造业的核心细分领域， 也是沈阳市工业经济保持平稳健康发展的重要支撑。聚焦大型压 缩机、真空熔铸及热处理装备、泵、阀门等主导产品，已构建形 成贯穿“核心部件－整机制造－系统集成－运维服务”一体化的

BEST 预计将于 2027 年建成， 并将首次演示聚变能发电。在众多的技术路线中，我们认为技术成熟的托卡 马克设备有望率先实现商业化落地。随着 BEST 等聚变项目的持续落地，磁 体系统/第一壁/真空部件等托卡马克设备高价值量零部件有望显著受益。 超 70%公司预计 2031-2040 年可实现聚变商业化，BEST 项目已开始总装 美中欧日等国家在聚变领域均制定了战略部署，如美国 Helion 中心螺管线圈和极向场线圈构成的磁体系统在环形真空室中构造出一个闭 合的螺旋形磁场，使得聚变燃料在真空室中发生聚变反应。中国建成的全球 首个全超导托卡马克 EAST 装置，已经实现 403 秒等离子体约束，技术成 熟。更强的磁场，能够实现更好的等离子体约束，因此能实现更高磁场强度 的高温超导未来有望帮助托卡马克率先实现商业化落地。 实验堆阶段托卡马克设备市场超 900 亿元，关注磁场线圈/第一壁/真空部件 当前可控核 阶段全球托卡马克设备的市场空间约 911 亿元。在设备主体结构中，磁场线 圈价值量占比最高为 55%，产业链公司有联创光电、永鼎股份、精达股份 等；第一壁部件价值量占比约为 27%，产业链公司有国光电气、安泰科技 等；真空部件价值量占比约为 15%，产业链公司有合锻智能、海陆重工等。 风险提示：技术进步不及预期；聚变技术路线变化；聚变试验堆项目推迟风 险；测算与实际误差的风险。 (21) (10)

的码垛机器人由操作机、控制系统、码垛系统和安全保护装置组成，如 图 𝟖 − 𝟑𝟗 所示，操作者通过示教器和操作面板进行码垛机器人运动位置 和动作程序示教，设定速度、码垛参数等。 机器人控制柜 示教器 真空发生装置 操作机 抓取式手爪 气体发生装置 1、吸附式 在码垛中，吸附式末端执行器主要为气吸附手爪，广泛应用于医 药、食品、烟酒等行业。吸附式末端执行器如图 𝟖 − 𝟒𝟎 所示。 图8-40 组合式具有各种单组手爪优势，灵活性较大，各单组手爪之间既可 单独使用又可配合使用，可同时满足多个工位码垛。组合式手爪如图 𝟖 − 𝟒𝟑 所示。 图8-43 组合式手爪 抓 钩 吸 盘 真空吸取式+抓取式组合机械手抓 图8-44 码垛生产线 码垛工作站是一种集成化系统，可以和生产系统相连接形成一个完整 的集成化包装码垛生产线。码垛机器人工作站包括：码垛机器人、控制 器、编程器、 务的为搬运作业系统。搬运作业系统主要包括真空发生装置、气体发 生装置、液压发生装置等。 机器人控制柜 真空发生装置 示教器 操作机 气体发生装置 末端执行器 通常企业都会有一 个大型真空负压站，为 整个生产车间提供气源 和真空负压。一般由单 台或双台真空泵作为获 得真空环境的主要设备， 以真空罐为真空存储设 备，连接电气控制部分 组成真空负压站。 图8-64 滑移平台

资料来源：汽车技研，国元证券研究所 线控底盘向三轴融合发展，AI赋能提高底盘性能上限 76 线控底盘的三大核心系统中，X轴为线控制动， 以电控信号取代传统制动系统部分或全部机械部 件，解决新能源车缺少真空泵源困境，通过电信 号获得更快信息传输及响应速度；Y轴为线控转 向，以电子控制器取代方向盘与转向轮之间机械 连接，提高响应速度；Z轴为空悬，以空气弹簧 取代传统弹簧，搭配可变阻尼减振器减轻颠簸。 又由于制动和转向间存在很强的相互制约的耦 最早的制动系统完全依靠驾驶员通过机械装置直接向制动器施加作用力来产生制动力。然而，随着汽车重量增加，仅靠人力的机械 制动已无法满足需求，因此人们引入了助力装置。早期采用的是真空助力方式，系统包括真空助力器和液压制动两部分。驾驶员踩 下制动踏板，踏板力通过杠杆放大后传递到真空助力器，再经助力器进一步放大，推动主缸将制动液送入轮缸，产生制动力，最终 通过卡钳夹紧制动盘实现车轮制动。随着对制动性能和安全性的要求不断提高，液压制动系统结合电子控制技术，衍生出一系列电 态控制系统（VDC）。博世在1995年推出集成ABS、 TCS和VDC功能的ESP，并实现量产及应用。此后，其他厂商也推出了类似产品，统称为电子稳定性控制系统（ESC）。至此，汽车制 动系统演变为“真空助力+ESP”的方案。 表19：电子稳定性控制系统（ESC）包含的部分功能 名称 功能 ABS 防抱死制动系统 防止紧急制动时制动轮抱死，以取得最佳 的制动效果 EBD 电子制动力分配 监测车轮与地面的附着力，最优分配制动

痛点分析：仪器安装复杂影响数据准确性，拆装维护成本 高且管理困难。精密仪器设备（如激光干涉仪、原子力显微镜、 航天传感器等）的高精度属性与复杂系统结构，导致安装调试 需满足温湿度、防震、洁净度等严苛环境条件，且核心部件拆 装涉及真空密封、光学校准等高难度操作，传统服务模式难以 保障数据准确性与维护效率。 应用场景： - 13 - 一级：数字化记录仪器部署环境、校准数值等服务流程与 信息。应用工单小程序等信息技术工具辅助记录服务流程，实 应用电子表格等基础工具，管理进口光学玻璃、真空镀膜材料 等特种物料的采购清单，记录供应商资质文件，实现微米级研 磨耗材、精密轴承等关键部件订单基础信息的数字化留存及材 料成分证明文件的电子归档，满足物料基本追溯需求。 二级：应用系统管理采购数据，规范化采购流程。应用覆 盖供应商全生命周期的信息化系统，实施物料批次号等参数的 线上标准化管理，实施检测报告、真空腔体氦质谱检漏证书等 质量文件的系

率、阀门开度等进行预调节，实现冷却液流量的精准动态响应，提升 CDU 在变负载工况下的调控能力。此外，针对系统漏液带来的安全 性问题，浪潮信息等厂商提出了负压 CDU 系统，该类系统利用真空 泵对系统内部施加真空，并配合储液腔进行稳流，当系统出现泄漏， 漏点会将空气吸入真空泵，通过气液分离器和消声器排出系统，即使 与服务器的连接断开，也不会影响系统运行。从发展趋势来看，CDU 产品的技术演进将更加注重系统级集成与精细化控制，包括进一步优

额定电压范围：72.5–550kV • 紧凑型设计，占地面积最小（110kV 和 220kV） • 断路器采用纯弹簧操动机构，免维护 • 德系制造标准，50 年成熟经验 SF6 GIS • 真空灭弧，洁净空气绝缘，零 CO2 排放 • 规避含氟气体排放政策风险 • 无需气体处理培训、报告或特殊处 理措施 • 在中国海上风电和电网企业已有多 个项目应用 Blue GIS • 精密电算与结构设计，性能可靠 严格工艺、设备与材料管控，保障 制造品质 • 高效节能，优于国标一级能效 • 百年技术积累，全球统一设计平台 电力变压器 • 首创树脂浇注技术，行业领先 • 高低压均为箔绕，抗短路性能强 • 高压线圈卧式真空浇注，有效排除 气泡 • 铜箔 / 铝箔可选，能效优于国家一级 标准 干式配电变压器 • 国内首家设计制造 • 参与制定中电联车载移动式变电站 标准 • 快速部署供电，高效应急响应

。 主要技术路线包括：超导、离子阱、中性原子、光量子、半导体、金刚石色心、拓扑等技术路 线各有千秋，核心差异在于：物理载体（电路/离子/光子）、操控能标（微波/光频/静电）、环境 需求（低温/真空/磁场）及扩展瓶颈（退相干/串扰/光子损耗）等方面。 所有技术路线均需满足以下标准： u 量子比特定义：可区分的二分量子态（|0⟩ , |1⟩ ）。 u 幺正演化：量子门操作满足幺正性（U†U=I）。 囚禁离子链（如Yb+/Ca+），以电子基态与 亚稳态编码量子比特，利用激光诱导拉比振荡实现单比特门，通过共享声子模式的Mølmer- Sørensen相互作用完成多比特纠缠。离子阱量子计算需超高真空（<10⁻¹¹ mbar）与激光冷却（μK 级）等核心设备。 中性原子量子计算是以光镊阵列囚禁中性原子（如Rb/Cs），量子比特编码于基态与里德堡态 （n>50），通过里德堡阻塞效应实现受控相 时解调等多种功能的集成，系 统能够同时支持高并行度的量子门操作和态读取。 第一章 2024产业发展概览 12 量子计算机的稳定运行需依赖极低温与超低噪声的特殊环境，因此需要通过制 冷系统、真空系统等精密设备的协同运作来保障。其中，稀释制冷机作为超导、半 导体、拓扑量子计算机的核心设备，一直受到各国特别关注。从2024年的进展来看， 欧美与中国企业呈现出不同的发展趋势： Ø 欧美企业

吸附可根据工艺需求采用变温吸附、真空变压吸附、变压吸附等方式。 5. 3. 43 当采用变温吸附工艺时，应符合下列规定： 1 若采用蒸汽对解吸塔进行间接升温时，蒸汽应上进下出； 2 若吸附剂再生温度高于 200℃，可采用电加热辅助加热的方式； 3 再生吸附剂冷却温度不宜高于 100℃。 5. 3. 44 当采用（真空）变压吸附工艺时，宜采用程控阀进行控制。 5. 3. 45 当采用真空变压吸附工艺时，脱附真空度宜为 当采用真空变压吸附工艺时，脱附真空度宜为 5kPa(a)~100kPa(a)。 5. 3. 46 当采用变压吸附工艺时，吸附压力宜为 0.1MPa（g）~6.0MPa（g）。 5. 3. 47 解吸塔气体出口应设置具有清堵功能的过滤器。 Ⅳ 膜分离法 5. 3 .48 分离膜的设计使用寿命不宜小于 3 年。 5. 3. 49 分离膜的 CO2 渗透率不宜小于 100×0⁻⁶cm 3STP) cm -2s −1 2.3 MPa； 3 储罐应采取保冷措施，保冷层的厚度计算应符合现行国家标准《工业设备及管 道绝热工程设计规范》GB 50264 的有关规定； 4 单罐容积小于或等于 200m 3的储罐宜采用真空粉末绝热罐。 5. 5. 6 二氧化碳储罐附属设备的设置应符合下列规定： 1 储罐宜设置全启封闭式安全阀及备用安全阀，备用安全阀的泄放能力不应小于 主安全阀的泄放能力； 2 安全阀与储罐之间

纤完成了四维混合时间路径编码 QKD 系统传输实验，可达到 51.5kbit/s 的密钥成码率，这类多芯光纤有望提升高维 QKD 系统传 输的鲁棒性85。美国斯坦福大学提出基于真空腔和远距离空间透镜 阵列组合的真空光束波导量子信道方案，信道损耗比光纤降低约 3 个数量级，此外还具备高光谱带宽优势，为无量子中继条件下支持 数千公里级地面传输提供了一种可能性86。德国莱布尼茨汉诺威大 学联 障硬件。核心硬件 包括激光器、微波源、探测器、高纯度同位素、原子气室等；辅助 器件包括电子元器件、光学系统元件、射频元件以及各种线缆等； 外围保障系统主要用于环境控制，如低温系统、磁屏蔽系统、真空 系统、隔振系统等。这些上游供应商在欧美地区具有较高的集中度。 量子精密测量技术涉及物理学、工程学、材料科学等多个学科，技 术体系复杂，研发难度大。同时产业链上游涉及的基础材料、元器 件和支